ก ทำความสะอาด ห้อง คือไอRTถูกต้อง ช่องว่าง วที่นี่ อากาศสะอาดเส้นเอสเอส, อุณหภูมิเป็นที่ใช่แล้วล่ะกลางมันใช่แล้ว ความกดดัน เลขที่คือและ อื่น พารามิเตอร์คือคบนโทรลนำ เช่น ความต้องการเอ็ด ที่ ด้านสิ่งแวดล้อม จำเป็นต้องคุณสมบัติของเครื่องจักรที่มีความแม่นยำ อุตสาหกรรม, กึ่งจัดการหรือ ดัชนีเราลอง ฯลฯ มี มีส่วนสนับสนุนแต่เอ็ดไปที่ การพัฒนา ของห้องคลีนรูม เทคโนโลยี.
ญาติ ความชื้นคือ หนึ่ง ของพารามิเตอร์เงื่อนไข สำหรับ การวัดระดับห้องคลีนรูม มาตรฐาน. ในความเป็นจริง, บาง แอปพลิเคชันข้อมูลจำเพาะของถ้าค่าเบี่ยงเบนเพียง 1% RH เนื่องจาก ไปที่ ผล ของความชื้นสัมพัทธ์บน วัสดุ กระบวนการไอเอ็นจีและการจัดเก็บจาก ทางกายภาพ/มุมมองทางเคมี.
แบคทีเรีย และอื่น ๆ ไบโอสิ่งปนเปื้อนเชิงตรรกะ (เชื้อรา, virใช้เชื้อรา, ไร) สามารถ คล่องแคล่วทวีคูณเข้า สิ่งแวดล้อมโดยมี RH สูงกว่า 60% และ ที่นั่น เป็น สม่ำเสมอ ดังนั้นฉันฟลอรา ที่ สามารถเติบโตได้ที่ RH มากกว่า 30% การควบคุม ความชื้นสัมพัทธ์ของห้องคลีนรูม เป็นทีเราและ 40% และ 60% อย่างมีประสิทธิภาพ การควบคุม ที่ การเจริญเติบโต ของแบคทีเรียและอื่นๆ สิ่งมีชีวิต และ ลดเป็นของพวกเขา ผลกระทบ.
นอกจากจะยับยั้งการเจริญเติบโตของ หลากหลาย ไมโครสิ่งมีชีวิต, อุณหภูมิยุคสามารถควบคุมความชื้นและความชื้นได้บ้าง ขอบเขต ป้องกัน สารเคมีต่างๆการกระทำหรือ เปลี่ยน ที่ ประเมิน ของปฏิกิริยา เช่น เช่น การกัดกร่อน, จะ จะถูกเร่งให้เป็นความชื้นสัมพัทธ์ เพิ่มขึ้นส. RH ที่ 50% ไวต่อการเกิดสนิม ในทางกลับกันบ้าง โลหะเช่นอะลูมิเนียมก็สามารถสร้างออกไซด์ป้องกันได้ด้วย น้ำ, แต่ นี้ เป็น ไม่ ก ดี สิ่ง ตามที่มัน อาจ ป้องกันการเกิดออกซิเดชันเพิ่มเติมและ ส่งผลกระทบ ประสิทธิภาพ.
การพัฒนาของ ห้องสะอาด คือคสูญเสียลี่ ลิงค์เอ็ดไป ทันสมัย อุตสาหกรรมและ การตัด-ขอบ เทคโนโลยี. การควบคุมความชื้นไม่เป็น ต่ำ ตามที่มัน ควร เป็น. เมื่อไร ความชื้นสัมพัทธ์ก็น้อยลง กว่า 30%, คงที่ ประจุอาจคงอยู่บนฉนวนหรือไม่ก็ได้พื้นเอ็ด พื้นผิวสำหรับ ยาว เวลา. ต่ำกว่า ความชื้น ระดับ สิบดีถึง สาเหตุ ค่าใช้จ่ายในการก่อสร้าง ขึ้น และเป็นมา ก หม้อเอนทิตีทั้งหมดคุณสร้างความเสียหายของเราอะไรของ ไฟฟ้าสถิต โรคค่าใช้จ่าย. เมื่อความชื้นสัมพัทธ์เกิน 50% ประจุไฟฟ้าสถิตจะเริ่มกระจายไป รวดเร็วลี่ ความชื้นสูงจริงๆ ลด การสะสมประจุไฟฟ้าสถิต ที่ คือความปรารถนาสีแดง ผลลัพธ์.
อุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูมคือ ส่วนใหญ่ มุ่งมั่น ตาม สู่กระบวนการ ความต้องการ, แต่ ภายใต้ เงื่อนไขของการปฏิบัติตามข้อกำหนดของกระบวนการ ความรู้สึก ของ มนุษย์ ปลอบโยน ควรจะเป็น เอาnเข้าไปข้างใน บัญชี. มากเกินไป ความชื้นจะ ทำ ประชากร รู้สึก อุดอู้, ในขณะที่ ความชื้นต่ำกว่า 30% RH จะทำให้คนรู้สึกได้ แห้ง, แตก ผิว, ระบบทางเดินหายใจ รู้สึกไม่สบาย เช่น ดี เป็นความรู้สึกไม่สบายทางอารมณ์
สวน เครื่องลดความชื้น จัดเตรียม คอมพ์อนุญาตจ สารละลาย ถึง ได้อย่างแม่นยำ ชุด อุณหภูมิและความชื้นของห้องสะอาดตาม แตกต่าง ข้อกำหนดของกระบวนการ เรียบง่าย การดำเนินงาน, ประสิทธิภาพสูง, กว้าง พิสัย ของการควบคุมอุณหภูมิและความชื้น, การควบคุมความชื้นที่มีความแม่นยำสูง ± 1% RH, อย่างง่ายดาย พบกับ ความต้องการ ที่แตกต่างกัน กระบวนการ เกี่ยวกับอุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูม
