كيف ل الدقةيكونر جأوروزيعلى في أشباه الموصلات مانالتصنيع؟ إنديانانحنمحاكماترطبلوأنايكونق يساعد الشركات تعمل على تحسين العائد
رطبةأور / هومنتصفهو - هيذ يؤدي إلى التآكل ل"نقاط الدائرة"، يتكثففيايون على ال علىوجه ل مايكرودائرة رقاقةإنه, و أناسليم التصاق صحارoresist مما يؤدي إلى المرجععصرالفشل التنظيمي لأشباه الموصلات مثلنظرت
توصيات عامة
الرطوبة النسبية في تصنيع تجميعات أشباه الموصلات نكونينبغي يكون الحفاظ على 30% ر.س، 20 درجة مئوية (70 درجة فهرنهايت).
أشباه الموصلات ...... الدوائر الدقيقة والرقائق الدقيقة - يتطلب التصنيع جداً قبلشروط cise التي يجب الحفاظ عليها في منطقة التصنيع / المعالجة. شركاتواحدntsمستخدم في تجميع/معالجة أشباه الموصلات هي أنواعيتصلو هيجروسشرطيجيم و هناكله للغاية عرضة ل عالي ظروف الرطوبة. ظروف الرطوبة العالية تؤدي إلى الرقاقة يُسلِّمفشل لينغ، التصاق غير لائق، تآكل نقطة الدائرة و كثير آخر مشاكل.
التحكم في الرطوبة ...... ان يستوردمتغير النمل -
العلاقات العامةحتىتآكل "نقاط الدائرة".
يمنع التكثيف على أسطح دوائر الرقائق الدقيقة.
يحمي المعدات
أحسن التصاق مقاوم الضوء
تهناالصدارة، التحكم في الرطوبة يصبحإنها ضرورة
1. منطقة التجميع
في صعصاuction من أشباه الموصلات و integمعدلدوائر د، الرطوبة الزائدة يستطيع سلبا يؤثر عملية الترابط وزيادة العيوب. مركبات البوليمر الحساسة للضوء مُسَمًّى مقاومات الضوء هي يستخدمد- إخفاء الدوائر الكهربائية المستخدمة في عملية النقش. حق ل هُم الطبيعة استرطابي, هم استيعاب الرطوبة، كاليفورنيااستخدام أن تكون الدوائر الكهربائية المجهرية يقطع أو بيتخلصجيد, نتيجةفي فشل الدائرة.
2. منطقة تصنيع الويفر
خلال عند تصنيع الرقاقة، يقوم جهاز دوار بتبريد سطح الرقاقة بواسطة رذاذالمطور على سطح الرقاقة، مما يسبب يحلالإقليم الشمالي موجود على الرقاقة لeبخارأكل سريعly.هذا يؤدي إلى تكثيف ماء بخار من ال هواء على سطح الرقاقة. هذه المياه الإضافية على الرقاقة سببإنه تغيير في الخاصيةر.تتطلعات المطور. المقاومة أيضًا يمتص الماء، مما يتسبب في تحلل البوليمرحسنًا. تابعلفافةإن وصول الرطوبة النسبية إلى 30% يلغي إمكانية تبريد سطح الرقاقةقليل نقطة الندى للهواء المحيط بسطح الرقاقة، وبالتالي منع الفشل والتدهور.
3. الطباعة الحجرية للصور غرفة
الظروف في غرفة الطباعة الضوئية يحتاج للحفاظ على الرهاننحنar 20% و35% رطوبة نسبية عند درجة حرارة 70 درجة فهرنهايت تقريبًا. يمكن أن تتسبب الرطوبة الزائدة في امتصاص السيليكا للماء، مما يؤدي إلى التصاق غير مناسب لمقاوم الضوء، أيّ يمكن أن يؤدي إلى الإجهاد صأعلىعيوب الطبيعة والسطحية.
إذا كانت الرطوبة مستوى عالية، ثم معدات فراغ هذه كما المبردة بوتشغيل mpsأدنى بسبب كبير حمولة من بخار الماء. إذا كان من الممكن الحفاظ على مستوى RH بين عن 30-35%، ثم تجهيز الدفعات سرعة بشكل ملحوظ أحمرcom.uced.
5. لحماية معدات برنامج التحصين الموسع (EPI).
يتكثف بخار الماء أو الرطوبة على أسطح التبريد للمعدات الفوقي، مما يؤدي إلى تآكل المكونات والتسبب في فشل التشغيل وتباطؤ العمليةملكق. مزيلات الرطوبة الصناعية هي تأثيرفي الحفاظ على معظم ظروف الرطوبة الصارمة المطلوبة في تصنيع أشباه الموصلات المناطق لأنهم قادرون على الحفاظ على الرطوبة النسبية عند أ سلبياتمستوى منخفض يصل إلى 1% أو أقل، بغض النظر عن البيئةحديدالظروف العقلية.
