كيفية المقاومة جأوروزيعلى في البذورسلوكأو تصنيع? صناعي قديممنتصفلوأنايكونق يساعد شركات يحسن أَثْمَر
رطبةالحال / الرطبهو - هيي يؤدي إلى تآكلمن "نقاط الدائرة"،التكثيف على سطح ل مايكرودائرة رقاقةإنه، و ايمسليم التصاق من صحارoresistالرائدة للعملفيionalفشل من أشباه الموصلات مثلنظرت
عام التوصيات
ال نسبي الرطوبة في أشباه الموصلات حَشد منطقة التصنيع يجب يكون يحافظ علىاد عند 30% ر.س، 20 درجة مئوية (70 درجة فهرنهايت).
أشباه الموصلات ...... الدوائر الدقيقة والرقائق الدقيقة - تصنيع يتطلبق جداً دقيق شروط للمحافظة عليها في التصنيع /عمليةمنطقة جي. شركاتواحدntsمستخدم في تجميع أشباه الموصلات/يعالج هي نموذجيةالجميعذ استرطابي ورهناله للغاية قنحنعرضة للرطوبة العالية شروط. ظروف الرطوبة العالية تؤدي إلى الرقاقة يُسلِّمفشل لينج, غير لائق التصاق، تآكل نقطة الدائرة و كثير آخر مشكلةق.
التحكم في الرطوبة ...... ان يستوردنملة عامل -
يمنعتآكل "نقاط الدائرة".
العلاقات العامةحتىتكثيف ts على دائرة الرقائق الدقيقة الأسطح.
يحمي معدات
أحسن التصاق مقاوم الضوء
هناكالصدارة، يكون التحكم في الرطوبةيأتيإنها ضرورة
1. منطقة التجميع
في صعصاuction من أشباه الموصلات و integمعدلالدوائر د، يمكن للرطوبة الزائدة سلبيlyيؤثر عملية الترابط و يزيد العيوب. مركبات البوليمر الحساسة للضوء كالقاد مقاومات الضوء هي يستخدمد لإخفاء كهربائي الدوائر المستخدمة في النقش عملية. حق إلى hygros بهمشرطيجيم طبيعة, هم استيعاب الرطوبة، كاليفورنيااستخدام مجهرية كهربائيجميع الدوائر لتكون يقطع أو بيتخلصجيد, الناتجة في أعطال الدائرة.
2. منطقة تصنيع الويفر
خلال عند تصنيع الرقاقة، يقوم جهاز دوار بتبريد الرقاقة على السطحوجه بواسطة رش المطور على سطح الرقاقة، مما تسبب في يحلالإقليم الشمالي حاضر على الرقاقة إلى eبخارأكل سريعly.هذا نتائج في التكثيف ماء بخار من الهواء على الرقاقة سطح. هذه المياه الإضافية على الرقاقة سببق أ يتغير في الخاصر.تتطلعات المطور. المقاومة أيضًا يمتص الماء، مما يتسبب في تحلل البوليمرنحنليرة لبنانية. السيطرة الرطوبة النسبية إلى 30% يلغي إمكانية تبريد يكون سطح الرقاقةقليل نقطة الندى في الهواء المحيطة سطح الرقاقة، وبالتالي منع الفشل والتدهور.
3. الطباعة الحجرية للصور غرفة
الشروط في الطباعة الحجرية غرفة يحتاج ليتم الحفاظ عليها بين 20% و35% رطوبة نسبية عند درجة حرارة 70 درجة فهرنهايت تقريبًا. مُبَالَغ فيه الرطوبة يمكن أن تسبب السيليكا لامتصاص الماء، نتيجةفي حالة التصاق غير مناسب لمقاوم الضوء، أيّ يمكن أن يؤدي إلى الإجهاد صأعلىعيوب الطبيعة والسطحية.
4. فراغ أسرع بوmp ديسيلعصرنشوئها
إذا كانت الرطوبة مستوى عالية، ثم معدات فراغ هذه كما المبردة مضخةتشغيل قأدنى بسبب كبير حمولة من بخار الماء. إذا كان من الممكن الحفاظ على مستوى RH بين عن 30-35%، ثم تجهيز الدفعات سرعة يكون بارِزlyيقللد.
5. ل حماية من معدات برنامج التحصين الموسع (EPI).
يتكثف بخار الماء أو الرطوبة على أسطح التبريد للمعدات الفوقي، مما يؤدي إلى تآكلها عناصر والتسبب في أعطال تشغيلية وتباطؤ العمليةملكق. مزيلات الرطوبة الصناعية هي تأثيرعشت في صيانة تتطلب ظروف الرطوبة الأكثر صرامةأحمر في تصنيع أشباه الموصلات المناطق لأنهم قادرون على الحفاظ على الرطوبة النسبية عند أ سلبياتمستوى منخفض يصل إلى 1% أو أقل، بغض النظر عن ذلك البيئية شروط.
