كيف تقاوم أشباه الموصلات التآكل؟ مزيل الرطوبة الصناعي لمساعدة الشركات على تحسين معدل المنتجات النهائية

كيف تقاوم جأوروزيعلىفي البذورسلوكأوتصنيع? صناعيديهومنتصفلوأنايكونقيساعد شركات يحسنأَثْمَر

رطبةure/رطبهو - هيy يؤدي إلىتآكلمن "نقاط الدائرة" ،التكثيفعلىسطحلميكررورقاقة Circuإنهو أناسليم التصاقمن صحارoresistالقيادةإلى Operفيionalفشلمن أشباه الموصلاتمثلتبدو مثل.

عامالتوصيات

النسبيالرطوبة في أشباه الموصلاتحَشدمنطقة التصنيعيجب يكون يحافظ علىإد بنسبة 30 ٪RH، 20 درجة مئوية (70 درجة فهرنهايت).

ملكنامزيل الرطوبةلذاlutions

أشباه الموصلات ...... الدوائر الدقيقة والرقائق الدقيقة - التصنيعيتطلبقجداً دقيق شروطليتم الحفاظ عليها في التصنيع/عمليةمنطقة جي. شركاتواحدNTSمستخدمفي مجموعة أشباه الموصلات/يعالجنموذجيةالجميعذاسترطابيو رهنالهبشدةقنحنقابلية للرطوبة العاليةشروط.ظروف الرطوبة العالية تؤدي إلى رقاقةيُسلِّمفشل لينغ ،غير لائقالتصاق ، تآكل نقطة الدائرة وكثير آخر مشكلةق.

السيطرة على الرطوبة ......يستوردالنملةعامل -

يمنعS تآكل "نقاط الدائرة".

العلاقات العامةحتىتكثيف TS على حلبة الرقائق الدقيقةالأسطح.

يحميمعدات

أحسنالتصاق مقاوم الضوء

هناكالصدارة ، التحكم في الرطوبةيأتيS ضرورة

1. منطقة التجميع

في صعصاuction من أشباه الموصلات و integمعدلدوائر د ، يمكن للرطوبة الزائدةسلبيلييؤثرعملية الترابط ويزيدعيوب. مركبات البوليمرات الحساسةقادعواطف ضوئيةيستخدمد لإخفاءكهربائيالدوائر المستخدمة في الحفرعملية. حقإلى رطوسهمشرطيICطبيعة, هم امتصاصالرطوبة ، كاليفورنيااستخدامالمجهريكهربائيالدوائر لتكونيقطعأو بيتخلصجيد ،الناتجةفي حالات فشل الدائرة.

2. منطقة تصنيع الويفر

خلالتصنيع الويفر ، يبرد الدواروجه بواسطة رشالمطور على سطح الرقاقة ، مما تسبب فييحلntحاضرعلى الرقاقة إلى هبخارأكلسريعلي.هذا نتائجفي تكثيفماءبخار من الهواء على الرقاقةسطح.هذا الماء الإضافي على الرقاقةسببS أيتغيرفي البروبيrtIES من المطور. المقاومةأيضًايمتص الماء ، مما تسبب في البوليمرنحنLL.السيطرةالرطوبة النسبية إلى 30 ٪ تلغي إمكانيةتبريديكون سطح الرقاقةقليلنقطة الندى في الهواءالمحيطسطح الرقاقة ، وبالتاليمنعالفشل والتدهور.

3. الحجامل الحجريةغرفة

الظروف في التصوير الفوتوغرافيغرفة يحتاجليتم الحفاظ عليهابين20 ٪ و 35 ٪ RH في حوالي 70 درجة فهرنهايت.مُبَالَغ فيهيمكن أن تتسبب الرطوبة في امتصاص السيليكا ،نتيجةفي التصاق غير لائق للمقاود الضوئي ،أيّيمكن أن يؤدي إلى الإجهاد صأعلىترن وعيوب السطح.

4. فراغ أسرعبوالنائب ديكلعصرنشوئها

إذا الرطوبةمستوىعالية ، ثم معدات الفراغهذهكمادةمضخةS Run S.أدنىبسببكبيرحمولة بخار الماء. إذا كان يمكن الاحتفاظ بمستوى RH بينعن30-35 ٪ ، ثم معالجة الدُفعاتسرعةيكونبارِزلييقللد.

5حمايةمن معدات التحصين الموسع

يتكثف بخار الماء أو الرطوبة على أسطح التبريد للمعدات الفوقية ، والتآكلعناصروالتسبب في حالات الفشل التشغيلي وعملية بطيئةملكق. مزيل الرطوبة الصناعيتأثيرأنا فيالحفاظشروط الرطوبة الأكثر صرامةأحمرفي تصنيع أشباه الموصلاتالمناطقلأنهم قادرون على الحفاظ على RH فيسلبياتمستوى التنت يصل إلى 1 ٪ أو حتى أقل ، بغض النظر عنالبيئةشروط.