Làm sao ĐẾN độ phân giảilàt choặcmàu hồngTRÊN TRONG chất bán dẫn mMỘTsản xuất? Ấn Độchúng tathử nghiệm củaẩm ướtnếu nhưTôilàS giúp đỡ các công ty cải thiện năng suất
Ẩm ướture/huGiữaNóy dẫn đến ăn mòn của"điểm mạch", ngưng tụTạiion bật cái TRÊNkhuôn mặt của vi môxiếc chipcủa nó, Và Tôithích hợp độ bám dính của pNóngoresist dẫn đến opthời đạisự hỏng hóc của chất bán dẫn BẰNGbạn đã nhìn
Khuyến nghị chung
Độ ẩm tương đối trong sản xuất lắp ráp chất bán dẫn lànên là duy trì ở mức 30% RH, 20°C (70°F).
của chúng tôi Máy hút ẩm Vì thếdung dịch
Chất bán dẫn ...... Vi mạch và Vi mạch - Yêu cầu sản xuất rất trướccác điều kiện cần được duy trì trong khu vực chế tạo/chế biến. Compmộtntsđã sử dụng trong lắp ráp/xử lý chất bán dẫn là điển hìnhgọi y hygrosCOPic và Ở đóvìeđánh giá cao dễ bị cao điều kiện độ ẩm. Điều kiện độ ẩm cao dẫn đến chip Tayhỏng hóc, bám dính không đúng cách, ăn mòn điểm mạch và nhiều khác vấn đề.
Kiểm soát độ ẩm ...... Một Nhập khẩubiến kiến -
Prthậm chíts sự ăn mòn của "điểm mạch".
Ngăn chặn sự ngưng tụ trên bề mặt mạch vi mạch.
Bảo vệ thiết bị
tốt hơn độ bám dính của chất quang dẫn
Tđâytrước, kiểm soát độ ẩm trở nênđó là một điều cần thiết
1. Khu vực lắp ráp
trong pgậysự hoạt động của chất bán dẫn và tích phântỷ lệmạch d, độ ẩm dư thừa Có thể bất lợi ảnh hưởng quá trình liên kết và làm tăng khuyết tật. Hợp chất polyme cảm quang gọi điện người quang điện là sử dụngd để che các mạch điện được sử dụng trong quá trình khắc. Quá hạn ĐẾN của họ tính chất hút ẩm, họ hấp thụ độ ẩm, casử dụng các mạch điện cực nhỏ có thể cắt hoặc bloại bỏged,kết quảtrong trường hợp hỏng mạch.
2. Khu vực chế tạo wafer
trong lúc chế tạo wafer, một công cụ quay vòng làm mát bề mặt wafer qua phunchất phát triển trên bề mặt wafer, gây ra gỡ rốint hiện diện trên wafer cho ehơi nướcăn nhanhly.cái này dẫn đến sự ngưng tụ của Nước hơi nước từ cái không khí trên bề mặt wafer. Nước bổ sung này trên wafer Gây rađó là một sự thay đổi trong propRTcủa nhà phát triển. Sự phản kháng Mà còn hấp thụ nước, làm cho polyme bị biến dạngTốt. TiếpCuộntăng độ ẩm tương đối lên 30% sẽ loại bỏ khả năng làm mát bề mặt tấm bán dẫnthấp điểm sương của không khí xung quanh bề mặt wafer, do đó ngăn ngừa hư hỏng và hư hỏng.
3. In thạch bản ảnh phòng
Điều kiện trong buồng quang khắc Nhu cầu đặt cược được duy trìchúng tôivi 20% và 35% RH ở khoảng 70°F. Độ ẩm quá mức có thể khiến silica hấp thụ nước, dẫn đến độ bám dính của chất quang dẫn không đúng cách, cái mà có thể dẫn đến căng thẳng rhướng lêncấu trúc và khuyết tật bề mặt.
4. nhanhlà chân không bơm sự giảm tốc
Nếu độ ẩm mức độ cao thì thiết bị hút chân không như là như đông lạnh Pumps chạy sthấp hơn do lớn tải hơi nước. Nếu mức RH có thể được giữ ở mức Về 30-35% thì xử lý theo đợt tốc độ đáng kể màu đỏuc.
5. Để bảo vệ thiết bị EPI
Hơi nước hoặc hơi ẩm ngưng tụ trên bề mặt làm mát của thiết bị epiticular, ăn mòn các bộ phận, gây ra lỗi vận hành và làm chậm quá trìnhsở hữuS. Máy hút ẩm công nghiệp là tác dụngtôi trong việc duy trì Hầu hết điều kiện độ ẩm nghiêm ngặt cần có trong sản xuất chất bán dẫn khu vực bởi vì họ có thể duy trì RH ở mức Nhược điểmmức độ tant thấp tới 1% hoặc thậm chí thấp hơn, bất kể môi trườngsắtđiều kiện tâm thần.
